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am 18. Dezember 2002
Wenn man sich sehr detailliert mit den verschiedenen Basistechnologien, Fertigungstechniken bis hin zur Systemintegration auseinandersetzen möchte, dann ist dieses Buch sicherlich kein schlechter Kauf. Mir persönlich geht es jedoch viel zu sehr in die Tiefe. Auf fast 400 Seiten wird mit viel Text praktisch jedes Detail der verschiedenen aktuellen Techniken beschrieben und mit Beispielen verschmückt. Die Beispiele kommen aus der Praxis der Mikrosystemtechnik und sind teilweise recht komplex - was jedoch am Thema und nicht an der Wahl der Beispiele oder am Autor liegt.
Die Grafiken und Bilder könnten teilweise etwas größer und besser aufbereitet sein. Sie enthalten aber immer sehr viel Information und sind hilfreich. Nach den Kapiteln fehlt ein Fazit, das grob die beschriebenen Techniken nocheinmal zusammenfaßt. Für denjenigen, der sich nur einen Überblick über die Thematik verschaffen möchte, ist das Buch ungeeignet, da es viel zu sehr ins Detail der einzelnen Prozesse geht.
Z.B. bei den Dünnschichttechnologien bis zu den Materialien und deren Verhalten und mathematische Modelierung. Spannend - aber für einen Überblick zu viel.
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