Bei diesem Buch erkennt man deutlich die Lieblingsthemen des Autors. Einige Themen werden sehr breit und ausführlich erklärt - mit vielen Hintergrundinformationen und Grundlagen. Andere werden nur kurz und knapp abgehandelt, nur die grundlegenden Dinge ohne Begründungen oder Erklärungen der Sachverhalte - für eine Übersicht ausreichend, für ein Lehrbuch aber etwas unbefriedigend. Bei letzteren "knappen" Themen fehlt dann auch oft der vom Autor im Vorwort angepriesene Vergleich der unterschiedlichen Technologien.
Teilweise ist das Buch auch etwas verwirrend geschrieben, so werden stellenweise Inhalte unnötigerweise vorgegriffen und unvollständig (und deshalb scheinbar nur "halbwahr") dargestellt, um später dann in der Tiefe erläutert zu werden - was zu Verwirrungen führen kann.
Die Intention des Autors, den Leser durch Beispiele "die Größenordnungen der verwendeten Parameter abschätzen" zu lehren wird teilweise dadurch zunichte gemacht, dass nur selten weder in Beispielen noch im Text relevante Größenordnungen oder Kennwerte der Technologien angegeben sind. Außerdem sind die Graphen teilweise ungünstig gewählt, so werden für unwichtige Verfahren Parameter angegeben, für die in der Technik üblichen Anwendungen aber nicht. Zu einigen Übungsaufgaben sind im Buch keine Formeln angegeben, so dass man diese extern recherchieren muss, obwohl sie für das Thema relevant sind.
Auf der anderen Seite finde ich es gut, dass dem Leser (versuchsweise) auch nicht ganz so augenscheinliche Parameter und Zahlen dargestellt werden und ein Gefühl für verschiedene Dimensionen gegeben werden soll.
Von diesen (kleinen) Makeln abgesehen ist das Buch verständlich aufgebaut, logisch gegliedert und (mit vorhandenem Hintergrundwissen) gut zu lesen.
Mein Fazit:
Die Eigenbeschreibung "Ein Lehrbuch" kann ich nicht ganz unterstützen - als solches ist es meiner Meinung nach nur bedingt geeignet - ich hätte teilweise etwas mehr erwartet in Bezug auf Erklärungen, Zahlen und Tabellen sowie Inhalten.
Insgesamt bietet das Buch aber einen gut strukturierten, meistens leicht zu lesenden Überblick über das Thema Technologien für die Mikroelektronikfertigung und ist zum Wiederauffrischen sicher gut geeignet.
