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Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik (German Edition) [Taschenbuch]

Ulrich Hilleringmann
3.5 von 5 Sternen  Alle Rezensionen anzeigen (2 Kundenrezensionen)
Preis: EUR 29,95 kostenlose Lieferung. Siehe Details.
  Alle Preisangaben inkl. MwSt.
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Kurzbeschreibung

27. Mai 2008 3835102451 978-3835102453 5., erg. u. erw. Aufl. 2008
Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 10 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erläutert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. In der 5. Auflage sind neue Themen wie "Atomic Layer Deposition" hinzugekommen, das Kapitel zur PECVD-Abscheidung wurde ergänzt und High-k-Dielektrika in Herstellung und Anwendung wurden zusätzlich eingearbeitet.

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Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik (German Edition) + Lehrbuch Mikrotechnologie: für Ausbildung, Studium und Weiterbildung
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Produktbeschreibungen

Pressestimmen

"Dieses Lehrbuch beinhaltet eine hervorragende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen."
Metall, 06/2009

Zur 3.Auflage:

"Vakuumtechnik und Nasschemie sind eben nicht jedermanns Sache und dementsprechend groß ist der Bedarf an einer verständlichen Einführung in dieses Feld. Ulrich Hilleringmann ist mit seinem jetzt in der dritten Auflage vorliegendem Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie präzise und doch stets verständlich darzustellen."
Elektronik, 11/2003

Werbetext

Fertigungsverfahren und Technologien in der Mikroelektronik


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Die hilfreichsten Kundenrezensionen
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3.0 von 5 Sternen Falsche Erwartungen? 17. Juli 2009
Von mig8068
Format:Taschenbuch|Verifizierter Kauf
Bei diesem Buch erkennt man deutlich die Lieblingsthemen des Autors. Einige Themen werden sehr breit und ausführlich erklärt - mit vielen Hintergrundinformationen und Grundlagen. Andere werden nur kurz und knapp abgehandelt, nur die grundlegenden Dinge ohne Begründungen oder Erklärungen der Sachverhalte - für eine Übersicht ausreichend, für ein Lehrbuch aber etwas unbefriedigend. Bei letzteren "knappen" Themen fehlt dann auch oft der vom Autor im Vorwort angepriesene Vergleich der unterschiedlichen Technologien.

Teilweise ist das Buch auch etwas verwirrend geschrieben, so werden stellenweise Inhalte unnötigerweise vorgegriffen und unvollständig (und deshalb scheinbar nur "halbwahr") dargestellt, um später dann in der Tiefe erläutert zu werden - was zu Verwirrungen führen kann.

Die Intention des Autors, den Leser durch Beispiele "die Größenordnungen der verwendeten Parameter abschätzen" zu lehren wird teilweise dadurch zunichte gemacht, dass nur selten weder in Beispielen noch im Text relevante Größenordnungen oder Kennwerte der Technologien angegeben sind. Außerdem sind die Graphen teilweise ungünstig gewählt, so werden für unwichtige Verfahren Parameter angegeben, für die in der Technik üblichen Anwendungen aber nicht. Zu einigen Übungsaufgaben sind im Buch keine Formeln angegeben, so dass man diese extern recherchieren muss, obwohl sie für das Thema relevant sind.
Auf der anderen Seite finde ich es gut, dass dem Leser (versuchsweise) auch nicht ganz so augenscheinliche Parameter und Zahlen dargestellt werden und ein Gefühl für verschiedene Dimensionen gegeben werden soll.
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4.0 von 5 Sternen Gut zum Nachschauen 23. Juli 2012
Von Anselmo
Format:Taschenbuch|Verifizierter Kauf
Wie der Titel schon vermuten lässt, ist es ein Grundlagenbuch und eignet sich gut als Klausurvorbereitung.
Aber: teilweise häufen sich inhaltliche Fehler, so wird behauptet des mit Eisen Rohsilizium zur Vermeidung von SiC gerreinigt wird, dass ist natürlich quatsch. Das war vielleicht früher so, aber heutzutage bzgl. der hohen Reinheitgrade ein no-go. Auch bei chemische Dotiertechnicken ist auch nicht immer alles Stimmig
Deshalb nicht blind darauf was drin steht.
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