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Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
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Neue Konzepte der Laserstrahlformung und -führung für die Mikrotechnik
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Workshop Multimedia und Mikrotechnik: BD 3
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Werkstoffe der Mikrotechnik: Lehrbuch für Ingenieure
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Mikrotechnik für die Produktion - Greifbare Produkte und Anwendungspotentiale
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Angewandte Mikrotechnik: LIGA - Laser - Feinwerktechnik
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Handbuch Mikrotechnik
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Mikrosystemtechnik: Konzepte und Anwendungen
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Mikrosystemtechnik für Ingenieure
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Handbuch der Electronic Design Automation
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Automatisierte Mikromontage Werkzeuge und Fügetechnologien für die Mikrosystemtechnik
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