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Mikrosystemtechnik für Ingenieure
Mikrosystemtechnik für Ingenieure
Wolfgang Menz , Jürgen Mohr
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Kurzbeschreibung
This completely revised edition of the first concise introduction to microsystems technology includes the latest trends of this emerging scientific discipline. Especially the chapters on silicium and LIGA technology are severely expanded. New topics include application aspects in medicine and... Lesen Sie weiter

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