Kurzbeschreibung
This completely revised edition of the first concise introduction to microsystems technology includes the latest trends of this emerging scientific discipline. Especially the chapters on silicium and LIGA technology are severely expanded. New topics include application aspects in medicine and health technology, lithography and electroplating.
Synopsis
This completely revised edition of the first concise introduction to microsystems technology includes the latest trends of this emerging scientific discipline. Especially the chapters on silicium and LIGA technology are severely expanded. New topics include application aspects in medicine and health technology, lithography and electroplating.
Buchrückseite
Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.
-- Dieser Text bezieht sich auf eine andere Ausgabe:
Taschenbuch
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