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Einführung in die Mikrosystemtechnik: Ein Kursbuch für Studierende
Einführung in die Mikrosystemtechnik: Ein Kursbuch für Studierende
Gerald Gerlach , Wolfram Dötzel
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Kurzbeschreibung
Mit der Entwicklung der Mikrosystemtechnik haben die Vorteile der Mikroelektronik - Miniaturisierung, Integration und hohe Parallelität in der Fertigung - auch die nichtelektrische Welt erreicht. Das vorliegende Buch stellt die grundlegenden Aspekte der Mikrosystemtechnik dar. Es schlägt... Lesen Sie weiter

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