- Taschenbuch: 116 Seiten
- Verlag: Suedwestdeutscher Verlag fuer Hochschulschriften (22. Juni 2009)
- Sprache: Deutsch
- ISBN-10: 3838108450
- ISBN-13: 978-3838108452
- Größe und/oder Gewicht: 22 x 15 x 0,7 cm
Produktinformation |
Produktbeschreibungen
Kurzbeschreibung
In dieser Dissertation werden Maßnahmen zur
Verringerung der Positionierunsicherheit einer
Nanopositionier- und Nanomessmaschine vorgestellt.
Sie erreicht in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x
5 mm eine Positionsauflösung von 0,1 nm. Zur
Verringerung der Temperaturempfindlichkeit wurden die
zur Längenmessung verwendeten
Planspiegelinterferometer konstruktiv verändert.
Zudem werden die vertikalen, elektrodynamischen
Antriebssysteme durch eine neuartige
Gewichtskraftkompensation stärker entlastet und die
Temperaturstabilität in der Messkammer durch eine
verbesserte Klimaregelung erhöht. Durch die
veränderte Lagerung einer neu konstruierten,
monolithischen Messspiegelecke treten verkleinerte
Oberflächenabweichungen auf. Die Unsicherheit für die
Bestimmung von Winkelabweichungen bei der Bewegung
der Messspiegelecke wurde deutlich verkleinert. Die
bei Verkippung des Messobjektes entstehenden
Längenmessabweichungen erster und zweiter Ordnung
werden dadurch reduziert.
Verringerung der Positionierunsicherheit einer
Nanopositionier- und Nanomessmaschine vorgestellt.
Sie erreicht in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x
5 mm eine Positionsauflösung von 0,1 nm. Zur
Verringerung der Temperaturempfindlichkeit wurden die
zur Längenmessung verwendeten
Planspiegelinterferometer konstruktiv verändert.
Zudem werden die vertikalen, elektrodynamischen
Antriebssysteme durch eine neuartige
Gewichtskraftkompensation stärker entlastet und die
Temperaturstabilität in der Messkammer durch eine
verbesserte Klimaregelung erhöht. Durch die
veränderte Lagerung einer neu konstruierten,
monolithischen Messspiegelecke treten verkleinerte
Oberflächenabweichungen auf. Die Unsicherheit für die
Bestimmung von Winkelabweichungen bei der Bewegung
der Messspiegelecke wurde deutlich verkleinert. Die
bei Verkippung des Messobjektes entstehenden
Längenmessabweichungen erster und zweiter Ordnung
werden dadurch reduziert.
Über den Autor
Ingomar Schmidt, Dr.-Ing.: Studium der Elektrotechnik und Informationstechnik an der TU Ilmenau mit Schwerpunkt Prozessmess- und Sensortechnik, wissenschaftlicher Assistent am Institut Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, Promotion im Jahr 2008, ab März 2008 Assistent der Geschäftsführung bei der Werth Messtechnik GmbH Giessen.
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